微機電系統工程專業介紹一、專業概述



　　微機電系統工程專業在光、機、電技術一體化方面的優勢和研究成果為微機電系統技術方面的研究和發展打下了堅實的基礎。本專業在微納米和微機電系統如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設計、制造、工藝、測試以及基礎理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領域還有:微陀螺和微慣導系統、微光學器件、微測量技術、小飛機、小衛星和微米衛星、納米摩擦學以及光盤機讀寫頭微型機構等。



　　微機電系統工程專業介紹二、培養目標



　　微機電系統工程是涉及微型機械、微電子、物理、材料、化學、生物等領域的綜合性、交叉性新學科。該專業涉及介觀物理、細觀力學、微細加工、微納測量與控制、功能材料與微納器件等諸多學科基礎理論與工程技術，被譽為對21世紀科技前沿發展具有重大影響的關鍵學科之一，應用前景廣闊。該學科著重培養面向生化微納機電系統、微傳感器與微執行器、微機器人與微裝配系統等科學研究、設計制造、產品研發需求的高層次專門人才。



　　微機電系統工程專業介紹三、主要課程



　　微機電工程材料、微機電器件與系統、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。



　　微機電系統工程專業介紹四、就業前景



　　微機電系統工程專業方向的人才需求雖然大，但可供選擇的人也很多，如果沒有非常強的綜合素質，很難在眾人之中脫穎而出，取得突出成績。也許這對許多胸懷遠大志向的考生來說是不能接受的。 當然，這里所說的兩點是否可行也和學生個人的追求有關，如果一個人追求僅限于一份較好的工作，該專業的確是一個不錯的選擇。但是，如果想在科技創新方面做出突破性的貢獻還是要建立在個人實力以及刻苦努力的基礎上，餡餅是決不會無緣無故從天上掉下來的。 由于本專業研究范圍廣，應用前景好，畢業生的專業素養相對較高，因此就業形勢非常好。



　　微機電系統工程專業介紹五、研究領域



　　微機電系統工程是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。MEMS的特點是：



　　1、微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。



　　2、以硅為主要材料，機械電器性能優良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。



　　3、批量生產：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產可大大降低生產成本。



　　4、集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。微傳感器、微執行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩定性很高的MEMS。



　　5、多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。
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